在现代工业的生长中 ，气体已经是必不可少的耗材。一方面是由于生产工艺的需求 ，如刻蚀、涂层等 ，气体经由真空电解可以和介质爆发反应抵达生产需求；另一方面作为辅助、吹扫、动力源等也是用途普遍。在使用具有危险性子的气体时 ，无论是管道残留、照旧纯度要求等 ，都需要举行工艺管线的吹扫。现代特气运送系统中 ，吹扫和排气已经成为整套系统的标配 ，特气系统加入吹扫功效后大大提升了清静性 ，也包管了每次使用气体的纯度。本文实验从吹扫和排气的专业角度对整套系统的架设提出建设性意见。
特气系统吹扫氮气设置：
n 自然性、可燃性、毒性、侵蚀性特种气系一切的吹扫氮气应与自力的氮气源链接 ，不得与公用的氮气或工艺氮气系统相连；
n 不相容性特种气系一切的吹扫氮气不得共用统一氮气源；
n 吹扫氮气管线必需设置止回阀。
吹扫氮气� ？榈纳杓埔丫晌仄怂拖低车谋曜蓟柚� ，有些用户凭证自身厂务的情形也可以使用氩气等惰性气体作为吹扫气体。除了易燃易爆性、毒腐性特气需要外接氮气吹扫外 ，许多惰性气体使用的是自吹扫系统。关于常用的氢气、乙炔等气体 ，也建议设置接入外吹扫氮气 ，一方面可以包管管内清洁度 ，一方面也较洪流平的包管使用清静。
另外 ，吹扫氮气的纯度建议仍然坚持在5N及以上 ，阻止给管道和阀门造成二次污染。
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