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硅烷的应用及供气系统操作说明

宣布时间：2022-11-02 | 游览：3899

内容摘要：硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物。

硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物。现在应用最多的是甲硅烷。一样平常把甲硅烷简称做硅烷。

硅烷的应用

1，高纯硅烷跟高纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池外貌2，跟高纯乙烯一起用于LOW-E镀膜玻璃的生产

3，高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源,

4，应用于国防、军事工业的研发、生产

5，硅烷在平板显示生产中也有主要的用途,

6，用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作说明

用一个减压器或自力的控制阀清静地从气瓶内释放硅烷。用单向阀来避免倒流。不要用明火或其它周围的热源加热钢瓶的任何部分。

使用防火花工具。不要试图对装有硅烷的钢瓶举行修理、调理或其他改动。

用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾 。以是的监测器都应有内锁，一旦发明问题连忙自动切断硅烷气源。

若是泛起故障或其他操作问题，请连忙与最近的分销商联系。

硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分派系统中应装置过流阀或过流开关。这样可以在下游管线爆发爆炸时切气绝源。这个开关阀应装置得离气源越近越好。

若有可能应阻止单唯一小我私家操作钢瓶。所有的操作都应这样举行,一旦爆发走漏，处置惩罚紧迫情形的职员可以连忙赶到。

监测系统应装备备用或应急电源。必需有�？亟羝瓤�，须要时可关闭硅烷气源。

一定不要拉、转动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，不要试图捉住气瓶的盖子来拎起它。包管气瓶在使用的全历程中为牢靠状态。

不可将工具(如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内。 不然会损坏阀门并引起走漏。

一旦钢瓶与吹扫和钝化过的辖档同接好，应缓慢仔细地翻开钢瓶阀。若是使用者在操作气瓶阀时有难题，需阻止使用，并与供应商联系。

使用可调理的带扳手来翻开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关装备接地。电器装备必需防火花和防爆。

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